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J-GLOBAL ID：200902188136761073   整理番号：02A0698110

シリコン基板のキャリア寿命測定に用いるキンヒドロン/メタノール処理

Quinhydrone/Methanol Treatment for the Measurement of Carrier Lifetime in Silicon Substrates.

著者 (3件)： TAKATO H (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  SAKATA I (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  SHIMOKAWA R (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 41  号： 8A  ページ： L870-L872  発行年： 2002年08月01日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 結晶性シリコン基板のキャリア寿命測定を行うためキンヒドロン...

シソーラス用語： *ケイ素 ,...

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分類 (1件)： 半導体結晶の電気伝導  (BM03043X)

物質索引 (2件)： キンヒドロン ,  メタノール

引用文献 (8件)：

• 1) E. Yablonovitch, D. L. Allara, C. C. Chang, T. Gmitter and T. B. Bright: Phys. Rev. Lett. 57 (1986) 249.
• 2) T. Nammori, K. Okamoto, T. Nunoi and Y. Hayashi: Jpn. J. Appl. Phys. 29 (1990) L166.
• 3) T. S. Horanyi, T. Pavelka and P. Tutto: Appl. Surf. Sci. 63 (1993) 306.
• 4) H. M'saad, J. Michel, J. Lappe and L. C. Kimerling: J. Electron. Mater. 23 (1994) 487.
• 5) A. W. Stephens and M. A. Green: Sol. Energy Mater. & Sol. Cells <B>45</B> (1997) 255.

タイトルに関連する用語 (5件)： シリコン基板 ,  キャリア ,  寿命測定 ,  キンヒドロン ,  メタノール