文献

J-GLOBAL ID：200902189243264070   整理番号：94A0238639

超精密位置決め用高減衰ステージ機構の開発

Development of Stage Mechanism with High Damping Capacity for High-precision Positioning.

著者 (2件)： 小林功 (日立 機械研) ,  沼里英彦 (日立 機械研)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 60  号： 2  ページ： 201-205  発行年： 1994年02月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： LSIチップの高密度化に伴い,リソグラフィにおいて,ウエハと...

シソーラス用語： 超精密加工 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=94A0238639&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0268A") }}

分類 (1件)： 工作機械要素,ジグ,チャック  (QC01020Z)

引用文献 (15件)：

• 1) 河合義夫 : 微細加工最前線, 精密工学会誌, 57, 12(1991)2129.
• 2) 高橋一雄, 小杉雅夫 : 縮小投影露光装置「FPA-1550」, 電子材料, 3月号, (1985)33.
• 3) 鳥海正樹 : 半導体製造装置における位置決め技術, 精密工学会誌, 57, 10(1991)1726.
• 4) 二見 茂, 古谷彰浩 : ACリニアモータと転がり案内を用いたナノメータ位置決め(第1報)-システムの構成と粗・微動制御, 精密工学会誌, 57, 3(1991)556.
• 5) 川瀬佳洋, 大塚二郎, 深田茂生, 青木芳人, 飯田 昇 : ねじ駆動による超精密位置決め(第2報)-比例ゲイン特性の改善によるナノメータ位置決め, 精密工学会誌, 57, 7(1991)1211.

タイトルに関連する用語 (4件)： 精密位置決め ,  減衰 ,  ステージ ,  開発