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J-GLOBAL ID：200902200331401359   整理番号：05A1044013

光触針式輪郭測定センサの楕円照射化による異常値補正効果

Outlier Compensation Effect of an Optical Profiling Sensor by Elliptical Spot Irradiation

著者 (2件)： 深津拡也 (東京都工高専) ,  柳和久 (長岡技科大)
資料名： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
巻： 71  号： 12  ページ： 1590-1594  発行年： 2005年12月05日 
JST資料番号： F0268B  ISSN： 1348-8716  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 精密工業製品では表面性状と形状がその機能や品質を左右する主た...

シソーラス用語： *形状測定 ,...

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分類 (2件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (8件)：

• 深津拡也. スペックルノイズ除去機能を有する光触針式輪郭測定法の研究. 精密工学会誌. 2003, 69, 7, 1008
• 深津拡也. 輪郭形状測定のための光触針式変位センサーの開発. 日本機械学会論文集, C編. 2003, 70, 694, 193
• 深津拡也. 光触針式輪郭測定機の性能向上を目的としたスペックル誤差補正システム. 精密工学会誌. 2004, 70, 5, 716
• 三井公之. 高感度非接触粗さ計の開発. 精密工学会誌. 1987, 53, 2, 328
• YANG, Chunlan. Diffraction Analysis and Evaluation of a Focus-error Detection Scheme for an Optical Profilometer. Proc. SPIE. 2000, 4221, 180

タイトルに関連する用語 (5件)： 触針 ,  輪郭 ,  測定センサ ,  楕円 ,  異常値