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J-GLOBAL ID：200902203152357184   整理番号：04A0543849

能動配向ヘッドを用いたステップアンドレピートの光ナノインプリントシステム

Step-and-Repeat Photo-Nanoimprint System Using Active Orientation Head

著者 (5件)： HIROSHIMA H (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  KOMURO M (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  KURASHIMA Y (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  KIM S H (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  MUNEISHI T (Kyocera Corp., Shiga, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 43  号： 6B  ページ： 4012-4016  発行年： 2004年06月30日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 能動配向ヘッドを設計して,ステップアンドレピートの光ナノイン...

シソーラス用語： *フォトリソグラフィー ,...
準シソーラス用語： ヘッド ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (11件)：

• 1) S. Y. Chou, P. R. Krauss and P. J. Renstrom: Appl. Phys. Lett. 67 (1995) 3114.
• 2) S. Y. Chou, P. R. Krauss, W. Zhang, L. Guo and L. Zhuang: J. Vac. Sci. & Technol. B <B>15</B> (1997) 2897.
• 3) Y. Kurahima, M. Komuro, H. Hiroshima, J. Taniguchi and I. Miyamoto: Jpn. J. Appl. Phys. 42 (2003) 3871.
• 4) W. Zhang and S. Y. Chou: Appl. Phys. Lett. 83 (2003) 1632.
• 5) T. Haatainen, J. Ahopelto, G. Gruetzner, M. Fink and K. Pfeiffer: Proc. SPIE 3997 (2001) 874.

タイトルに関連する用語 (2件)： 配向 ,  光ナノインプリント