文献

J-GLOBAL ID：200902206505123106   整理番号：08A0675528

ドライフィルムレジストから成るマイクロチャンネルデバイス

Micro Channel Device composed by Dry Film Resist

著者 (3件)： KAWAI Akira (Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN) ,  TANAKA Daisuke (Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN) ,  ARIGA Tomotaka (Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN)
資料名： Journal of Photopolymer Science and Technology  (Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 21  号： 1  ページ： 43-46  発行年： 2008年 
JST資料番号： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロ粒子が凹状チャンネルを通り抜けフィルタ構造中の貫通孔でトラップされる。実験では脱イオン水(DI)がドライフィルムレジスト(DFR)で構成されたマイクロ3D-フィルタ系に落とされる。フィルタ系はマイクロ液滴の入り口,マイクロチャンネル,マイクロイフィルタおよび出口チャンネルから構成されている。この結果マイクロ粒子は種々の形状パターン中の異なる場所で凝縮しトラップされた。マイクロフィルタデバイスにおけるマイクロ粒子の流れおよびトラッピングは機能性マイクロデバイス製造におけるひとつの重要な因子と認識された。作用Laplace力下での3D-構造の構築が構造破壊なく達成された。マイクロ粒子およびDFR構造に作用する力はメタノール溶液の表面エネルギーを調節することで制御された。マイクロパターン配列の設計によりマイクロフィルタ系を制御し予測することができた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *フォトレジスト ,  *チャネル ,  *固体素子 ,  薄膜 ,  フィルタ ,  微粒子 ,  脱イオン水 ,  表面エネルギー ,  界面張力 ,  脂肪族アルコール ,  *マイクロチャネル
準シソーラス用語： *マイクロ素子

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (1件)： メタノール

引用文献 (6件)：

• A. Kawai, proc. SPIE, 3677(1999)565.
• Fan Y, Lafferty N, Bourov A, Zavyalova L, Smith BW., Proc. SPIE 5377,(2004)487.
• A. Kawai, J. Photopolymer Sci. Technol.18(2005)349.
• H. Endo, A. Kawai, J. Photopolymer Sci. Technol.17(2004)713.
• F. M. Fowkes, Ind Eng. Chem.56(1964)40.

タイトルに関連する用語 (2件)： ドライフィルムレジスト ,  マイクロチャンネル