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J-GLOBAL ID：200902210022353108   整理番号：06A0022548

PLD法によりPVC基板上へ作製した酸化亜鉛系透明導電膜の成膜条件の最適化

Optimization of Transparent Conducting ZnO Films Deposited on PVC Substrate by PLD Method

著者 (6件)： 前田剛 (大阪産大 工) ,  安倉秀明 (大阪産大 工) ,  青木孝憲 (大阪産大 工) ,  鈴木晶雄 (大阪産大 工) ,  松下辰彦 (大阪産大 工) ,  奥田昌宏 (大阪府大 工)
資料名： 電気学会論文誌 C  (IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems)
巻： 126  号： 1  ページ： 132-133  発行年： 2006年01月01日 
JST資料番号： S0810A  ISSN： 0385-4221  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ArFエキシマレーザを用いたパルスレーザ堆積法を用いて,ポリ...

シソーラス用語： 基板 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (3件)：

• (1) A. Suzuki, T. Matsushita, T. Aoki, A. Mori, and M. Okuda:“Highly conducting transparent indium tin oxide films prepared by pulsed laser deposition”, Thin Solid Films Vol. 411, pp. 23-27 (2002)
• (2) T. Minami, S. Ida, T. Miyata, and Y. Minamino:“Transparent conducting ZnO thin films deposited by vacuum arc plasma evaporation”, Thin Solid Films Vol. 445, pp. 268-273 (2003)
• (3) S. Shirakata, T. Sakemi, K. Awai, and T. Yamamoto:“Optical and electrical properties of ZnO films prepared by URT-IP method”, Thin Solid Films Vol. 445, pp. 278-283 (2003)

タイトルに関連する用語 (7件)： PLD法 ,  PVC ,  作製 ,  酸化亜鉛 ,  透明導電膜 ,  成膜条件 ,  最適化