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J-GLOBAL ID：200902217175061348   整理番号：03A0062996

大重量主軸台の原子レベル超磁歪位置決め/アライメントシステムの開発 φ300mmSiウエハ超加工機械の中核技術

Development of Atomic Level GMM Positioning/Alignment System for Driving a Gigantic Weight Spindle. Core Technology for Advanced φ300mm Si Wafer Ultraprecision Machine Tool.

著者 (6件)： 江田弘 (茨城大 工) ,  ZHOU L (茨城大 工) ,  近藤良 (茨城大 工) ,  中野博民 (茨城大 工) ,  森輝夫 (TDK) ,  清水淳 (茨城大 工)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 69  号： 1  ページ： 100-104  発行年： 2003年01月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超磁歪材料(GMM)には機械的,電気的アクチュエータに比べて...

シソーラス用語： *ウエハ【IC】 ,...
準シソーラス用語： 磁気ひずみ ,...

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  研削  (QC03000R)

引用文献 (12件)：

• CLARK, A. E. 超磁歪材料. 1995, 93
• EDA, H. Powder Metallurgic Giant Magnetostrictive Material and its Applications in Micro-actuator and Micro-sensors. Proc. Materials and Device characterization in Micromachining II, SPIE, Santa Clara. 1999, 114
• 江田弘. 大口径Φ300mmSi ウエハ用超加工機械の開発. 精密工学会誌. 2001, 67, 10, 1693
• 周立波. 大口径シリコンウエハ研削加工における幾何と運動. 精密工学会誌. 2002, 68, 1, 125
• EDA, H. Ultra Precise Machine Tool Equipped with a Giant Magnetostriction Actuator. Annals of the CIRP. 1992, 41, 1, 421-424

タイトルに関連する用語 (6件)： 主軸台 ,  原子 ,  超磁歪 ,  開発 ,  ウエハ ,  加工機械