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J-GLOBAL ID：200902228929836440   整理番号：05A0995062

ステップ高さ試料における基礎直線に関連するパラメータの信頼性:ナノメータ計測AFMを用いたステップ高さ測定における不確実性評価

Reliability of parameters of associated base straight line in step height samples: Uncertainty evaluation in step height measurements using nanometrological AFM

著者 (9件)： MISUMI Ichiko (National Metrology Inst. of Japan, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (NMIJ/AIST), Tsukuba ...) ,  GONDA Satoshi (National Metrology Inst. of Japan, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (NMIJ/AIST), Tsukuba ...) ,  KUROSAWA Tomizo (National Metrology Inst. of Japan, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (NMIJ/AIST), Tsukuba ...) ,  AZUMA Yasushi (National Metrology Inst. of Japan, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (NMIJ/AIST), Tsukuba ...) ,  FUJIMOTO Toshiyuki (National Metrology Inst. of Japan, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (NMIJ/AIST), Tsukuba ...) ,  KOJIMA Isao (National Metrology Inst. of Japan, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (NMIJ/AIST), Tsukuba ...) ,  SAKURAI Toshihisa (Tohoku Univ., Aza-Aoba 10, Aramaki, Aoba-ku, Sendai 980-8579, JPN) ,  OHMI Tadahiro (Tohoku Univ., Aza-Aoba 10, Aramaki, Aoba-ku, Sendai 980-8579, JPN) ,  TAKAMASU Kiyoshi (The Univ. of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8654, JPN)
資料名： Precision Engineering  (Precision Engineering)
巻： 30  号： 1  ページ： 13-22  発行年： 2006年01月 
JST資料番号： A0734B  ISSN： 0141-6359  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノメータ機器の校正用の重要なナノメータ計測基準の一つとして...

シソーラス用語： *高さ ,...

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分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (23件)：

• GONDA, S. Real-time, interferometrically measuring atomic force microscope for direct calibration of standards. Rev Sci Instrum. 1999, 70, 3362-3368
• GONDA, S. Accurate topographic images using a measuring atomic force microscope. Appl Surf Sci. 1999, 144-145, 505-509
• MELI, F. High precision pitch calibration of gratings using laser diffractometry. Proceedings of the 1st International Conference on Precision Engineering and Nanotechnology. 1999. 1999, 252-255
• HATSUZAWA, T. A compact laser interferometer with a piezodriven scanner for metrological measurements in regular SEMs. Rev Sci Instrum. 1994, 65, 2510-2513
• DOI, T. Accurate surface profilometry using interferometric microscope with high magnification. Proceedings of the 3rd Euspen International Conference, May 26th-30th. 2002. 2002, 521-524

タイトルに関連する用語 (10件)： 高さ ,  試料 ,  基礎 ,  直線 ,  パラメータ ,  ナノメータ ,  計測 ,  AFM ,  高さ測定 ,  不確実性評価