走査型プローブ顕微鏡を用いたSi用のサブ20nm擦過ナノリソグラフィー

文献

J-GLOBAL ID：200902235320021536 整理番号：07A1058863

Sub-20 nm Scratch Nanolithography for Si Using Scanning Probe Microscopy

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巻： 46 号： 10A ページ： 6908-6910 発行年： 2007年10月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

ダイヤモンド被覆チップを有する走査型プローブ顕微鏡を用いてS...

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固体デバイス製造技術一般

引用文献 (14件)：

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