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J-GLOBAL ID：200902245613729067   整理番号：03A0664532

高品質ホモエピタキシャルダイヤモンド(100)薄膜に関する高速成長およびルミネセンス特性

High rate growth and luminescence properties of high-quality homoepitaxial diamond (100) films

著者 (3件)： TERAJI T (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  MITANI S (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  ITO T (Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名： Physica Status Solidi. A. Applied Research  (Physica Status Solidi. A. Applied Research)
巻： 198  号： 2  ページ： 395-406  発行年： 2003年08月 
JST資料番号： D0774A  ISSN： 0031-8965  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標題薄膜を,マイクロ波プラズマCVD(MPCVD)法により調...

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,...
準シソーラス用語： ヒロック

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分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  半導体のルミネセンス  (BM08092S)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (4件)： 高品質 ,  薄膜 ,  成長 ,  ルミネセンス