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J-GLOBAL ID：200902248359325715   整理番号：06A0320860

エーロゾル堆積法で形成したジルコニウム酸チタン酸鉛薄膜に関する走査型容量顕微鏡法評価

Scanning Capacitance Microscopy Evaluation of Lead Zirconate Titanate Film Formed by Aerosol Deposition Method

著者 (2件)： NAITOU Yuichi (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  OGISO Hisato (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 45  号： 3B  ページ： 1922-1925  発行年： 2006年03月30日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： エーロゾル堆積法(ADM)で調製したジルコニウム酸チタン酸鉛...

シソーラス用語： 強誘電体 ,...
準シソーラス用語： *PZT【鉛化合物】 ,...

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分類 (3件)： 強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

引用文献 (11件)：

• J. Akedo, N. Minami, K. Fukuda, M. Ichiki and R. Maeda: Ferroelectrics 231(1999)285.
• J. Akedo and M. Lebedev: J. Cryst. Growth 235(2002)415.
• J. Akedo and M. Lebedev: Jpn. J. Appl. Phys.40(2001)5528.
• J. Akedo and M. Lebedev: Jpn. J. Appl. Phys.38(1999)5397.
• T. Tsuji, H. Ogiso, J. Akedo, S. Saito, K. Fukuda and K. Yamanaka: Jpn. J. Appl. Phys.43(2004)2907.

タイトルに関連する用語 (5件)： エーロゾル堆積法 ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  薄膜 ,  走査型容量顕微鏡 ,  評価