文献
J-GLOBAL ID:200902255294332561
整理番号:07A0988079
モンテカルロ法による高周波CF4プラズマ中電子エネルギー分布の特性解析
Analysis of electron energy distribution in radio-frequency CF4 plasma using Monte Carlo method
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{{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=07A0988079©=1") }}
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{{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=07A0988079&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=Z0951A") }}