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J-GLOBAL ID:200902263627132770   整理番号:05A0740291

「応用物理における計算科学の現状と将来展望」半導体プロセスにおける化学反応の電子・原子レベル制御-量子分子動力学法に基づくマルチフィジックスシミュレーターの開発-

Electronic- and atomic-level control of chemical reactions in semiconductor processes-Development of multi-physics quantum chemical molecular dynamics simulator-
著者 (6件):
資料名:
巻: 74  号:ページ: 1052-1059  発行年: 2005年08月10日 
JST資料番号: F0252A  ISSN: 0369-8009  CODEN: OYBSA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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超微細化が急速に進む半導体プロセスでは,原子レベルでの化学反...
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分類 (2件):
分類
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固体デバイス製造技術一般  ,  計算機シミュレーション 
引用文献 (7件):
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