文献

J-GLOBAL ID：200902274258689954   整理番号：07A0078115

物理吸着等温曲線の測定で評価したSnO₂スパッタ薄膜に関する有効表面積

Effective Surface Area of SnO₂-Sputtered Films Evaluated by Measurement of Physical Adsorption Isotherms

著者 (6件)： YAMAZAKI Toshinari (Univ. Toyama, Toyama, JPN) ,  FURUTA Tomoyasu (Univ. Toyama, Toyama, JPN) ,  SHEN Yanbai (Univ. Toyama, Toyama, JPN) ,  JIN Chengji (Univ. Toyama, Toyama, JPN) ,  KIKUTA Toshio (Univ. Toyama, Toyama, JPN) ,  NAKATANI Noriyuki (Univ. Toyama, Toyama, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 45  号： 12  ページ： 9180-9184  発行年： 2006年12月15日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SnO₂スパッタ薄膜の微細構造を,電界...

シソーラス用語： *酸化スズ ,...
準シソーラス用語： 圧力依存性 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=07A0078115&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0520B") }}

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (16件)：

• J. A. Thornton: J. Vac. Sci. Technol. A 4(1986)3059.
• J. A. Thornton: J. Vac. Sci. Technol.12(1975)830.
• J. H. Kim and P. H. Holloway: J. Vac. Sci. Technol. A 20(2002)928.
• X. L. He, J. P. Li, X. G. Gao and L. Wang: Sens. Actuators B 93(2003)463.
• T. Yamazaki, H. Okumura, C. J. Jin, A. Nakayama, T. Kikuta and N. Nakatani: Vacuum 77(2005)237.

タイトルに関連する用語 (6件)： 物理吸着 ,  曲線 ,  評価 ,  スパッタ ,  薄膜 ,  表面積