いろいろな基板ホルダ形状でのマイクロ波放電における単結晶ダイヤモンドの実験的に得た成長率と形態のプラズマ及び気体動力学の数値予測との定性的一致

YAMADA Hideaki; CHAYAHARA Akiyoshi; MOKUNO Yoshiaki; SODA Yousuke; HORINO Yuji; SHIKATA Shin-ichi; FUJIMORI Naoji

文献

J-GLOBAL ID：200902274952095379 整理番号：06A1033713

いろいろな基板ホルダ形状でのマイクロ波放電における単結晶ダイヤモンドの実験的に得た成長率と形態のプラズマ及び気体動力学の数値予測との定性的一致

Qualitative Correspondences of Experimentally Obtained Growth Rates and Morphology of Single-Crystal Diamond with Numerical Predictions of Plasma and Gas Dynamics in Microwave Discharges for Various Substrate Holder Shapes

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著者 (7件)： , , , , , ,
資料名：
巻： 45 号： 10B ページ： 8177-8182 発行年： 2006年10月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

我々は単結晶ダイヤモンドの化学蒸着用のマイクロ波プラズマ放電...

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炭素とその化合物

引用文献 (22件)：

A. Chayahara, Y. Mokuno, Y. Horino, Y. Takasu, H. Kato, H. Yoshikawa and N. Fujimori: Diamond Relat. Mater.13(2004)1954.
Y. Mokuno, A. Chayahara, Y. Soda, Y. Horino and N. Fujimori: Diamond Relat. Mater.14(2005)1743.
P. Hartmann, R. Haubner and B. Lux: Diamond Relat. Mater.5(1996)850.
Y.-J. Baik, J.-K. Lee, W.-S. Lee and K.-Y. Eum: J. Mater. Res.13(1998)944.
K. Hassouni, T. A. Grotjhon and A. Gicquel: J. Appl. Phys.86(1999)134.

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