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J-GLOBAL ID：200902275535506192   整理番号：08A1260283

MEMSシリコン梁型共振器の3次元共振特性

Characteristics of Three-Dimensional Resonant Vibration in a MEMS Silicon Beam Resonator

著者 (4件)： ISHINO Takuya (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  MAKITA Sho (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  TANIGAWA Hiroshi (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  SUZUKI Kenichiro (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
資料名： Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems  (Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems)
巻： 25th  ページ： 551-556  発行年： 2008年10月22日 
JST資料番号： X0768A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： バルク表面微細加工により,シリコン単結晶梁型共振器を作製し,レーザドップラー(LD)装置により,その機械特性を直接測定した。この測定方法を用いて,面内振動モードを面外振動モードと別に測定した。その結果,共振周波数はシミュレーション結果と良く一致し,空気制動は,GHz動作で真空パッケージング不要の可能性を示す,500Pa以下で無視できることがわかった。インピーダンスアナライザーを用いた電気測定で,その共振器のインピーダンスと容量は,バイアス電圧に依存し,共振周波数近傍での挙動は,機械的梁振動の大きさと関係することを示した。LD装置により測定した機械的特性は,電気測定と良く一致した。作製した共振器は,かなり大サイズのため1MHz以下の共振周波数であったが,その素子サイズを縮小することにより,共振周波数を容易に増すことが可能である。しかし,機械的特性の直接測定は,LD装置の周波数限界により困難になる。

シソーラス用語： *MEMS ,  *ケイ素 ,  *共振器 ,  マイクロマシニング ,  振動モード ,  *共振周波数 ,  周波数特性
準シソーラス用語： 梁型共振器

分類 (2件)： 共振器  (NC04050Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： MEMS ,  シリコン ,  梁 ,  共振器 ,  3次元 ,  共振特性