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J-GLOBAL ID:200902290518982940   整理番号:03A0393108

流速変調エピタキシーによって作製したAlN/GaNヘテロ構造および超格子の平坦な表面と界面

Flat Surfaces and Interfaces in AlN/GaN Heterostructures and Superlattices Grown by Flow-Rate Modulation Epitaxy
著者 (2件):
資料名:
巻: 42  号: 4B  ページ: 2305-2308  発行年: 2003年04月30日 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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分類 (1件):
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半導体薄膜 

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