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J-GLOBAL ID：200902296361666036   整理番号：05A0319469

頂部に金属粒子を有するAFMプローブを用いたSi構造のサブ波長分解能Raman顕微鏡観察

Subwavelength-Resolution Raman Microscopy of Si Structures Using Metal-Particle-Topped AFM Probe

著者 (3件)： POBORCHII Vladimir (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN) ,  TADA Tetsuya (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN) ,  KANAYAMA Toshihiko (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 44  号： 1-7  ページ： L202-L204  発行年： 2005年02月10日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： (100)Si表面上の微小粒子により散乱された364nm光の...

シソーラス用語： *Raman散乱 ,...
準シソーラス用語： Raman顕微分光法

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分類 (2件)： 半導体の表面構造  (BK15030A) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

物質索引 (1件)： グリセロール

引用文献 (9件)：

• 1) I. De Wolf: Semicond. Sci. Technol. 11 (1996) 139.
• 2) S. Webster, D. N. Batchelder and D. A. Smith: Appl. Phys. Lett. 72 (1998) 1478.
• 3) B. Dietrich, V. Bukalo, A. Fischer, K. F. Dombrowski, E. Bugiel, B. Kuck and H. H. Richter: Appl. Phys. Lett. 82 (2003) 1176.
• 4) L. Novotny, E. J. Sanchez and X. Sunney Xie: Ultamicroscopy 71 (1998) 21.
• 5) M. S. Anderson: Appl. Phys. Lett. 76 (2000) 3130.

タイトルに関連する用語 (8件)： 頂部 ,  金属粒子 ,  AFM ,  プローブ ,  Si ,  サブ ,  Raman顕微鏡 ,  観察