特許
J-GLOBAL ID:200903000084321244

固体撮像装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 船橋 國則
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-204208
公開番号(公開出願番号):特開2006-032374
出願日: 2004年07月12日
公開日(公表日): 2006年02月02日
要約:
【課題】高精細化に伴って画素数が増えると、垂直信号線に接続される画素数が増え、信号処理回路のキャパシタへの負荷が増大するため、キャパシタとしてより大きい容量のものが必要になる。【解決手段】画素アレイ部12の垂直画素列ごとに配されるS/H、CDS回路151のキャパシタC11,C12を、従来の平面型キャパシタに代えて、スタック/トレンチキャパシタを用いて形成することで、キャパシタC11,C12の平面的な占有面積を変えることなく、キャパシタC11,C12の容量値を増大可能とする。【選択図】図2
請求項(抜粋):
光電変換素子を含む画素が行列状に配置されてなる画素アレイ部と、 前記画素アレイ部の各画素から出力される信号の処理に用いるキャパシタを含み、前記画素アレイ部の画素列ごとに配された信号処理回路とを備え、 前記信号処理回路に含まれる前記キャパシタが、スタックキャパシタまたはトレンチキャパシタからなる ことを特徴とする固体撮像装置。
IPC (4件):
H01L 27/146 ,  H04N 5/335 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822
FI (4件):
H01L27/14 A ,  H04N5/335 E ,  H04N5/335 U ,  H01L27/04 C
Fターム (27件):
4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA02 ,  4M118DD09 ,  4M118DD12 ,  4M118FA06 ,  4M118FA33 ,  5C024CY47 ,  5C024GX03 ,  5C024GX16 ,  5C024GX18 ,  5C024GY35 ,  5C024HX01 ,  5C024HX35 ,  5C024HX40 ,  5C024HX41 ,  5C024HX50 ,  5F038AC05 ,  5F038AC10 ,  5F038CA07 ,  5F038CA18 ,  5F038DF01 ,  5F038DF03 ,  5F038DF05 ,  5F038DF20 ,  5F038EZ20
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 固体撮像装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-242960   出願人:株式会社日立製作所
審査官引用 (12件)
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