特許
J-GLOBAL ID:200903000295363083

ガスセンサ素子及びその製造方法並びにガスセンサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 須山 佐一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-220490
公開番号(公開出願番号):特開2007-033374
出願日: 2005年07月29日
公開日(公表日): 2007年02月08日
要約:
【課題】良好な多孔質保護層を形成することができ、従来に比べてライトオフタイムの短縮と信頼性の向上を図ることのできるガスセンサ素子及びその製造方法並びにガスセンサを提供する。【解決手段】積層体Aの先端側からスプレー装置701によってスプレーし、次に積層体Aを回転させつつ側方からスプレーして積層体Aに多孔質保護層をとなるコート液(セラミック原料粉末を揮発性溶媒中に分散させたもの)を被着させ、この後、熱処理する。【選択図】図6
請求項(抜粋):
被測定ガス中の所定ガスの濃度に応じて電気的特性が変化するガスセンサ素子本体と、このガスセンサ素子本体を加熱するためのヒータとを積層させた軸線方向に延びる板状の積層体を有し、この積層体のうち少なくとも前記被測定ガスと接触することとなる先端面及び側周面を覆うように多孔質保護層が形成されたガスセンサ素子の製造方法であって、 セラミック原料粉末を揮発性溶媒中に分散させたコート液を前記積層体にスプレーして未処理多孔質保護層を形成するスプレー工程と、 この未処理多孔質保護層が形成された前記積層体を熱処理し、多孔質保護層を形成する熱処理工程とを含むことを特徴とするガスセンサ素子の製造方法。
IPC (1件):
G01N 27/409
FI (1件):
G01N27/58 B
Fターム (6件):
2G004BB04 ,  2G004BC02 ,  2G004BF04 ,  2G004BF09 ,  2G004BG05 ,  2G004BJ03
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (7件)
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