特許
J-GLOBAL ID：200903000444575250

レジスト用共重合体およびその製造方法、ならびにレジスト組成物

発明者：
百瀬 陽

百瀬 陽 について

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若林 茂夫

若林 茂夫 について

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上田 昭史

上田 昭史 について

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藤原 匡之

藤原 匡之 について


出願人/特許権者：
三菱レイヨン株式会社

三菱レイヨン株式会社 について


代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-340817
公開番号（公開出願番号）：特開2003-246825
出願日： 2002年11月25日
公開日（公表日）： 2003年09月05日
要約：
【要約】【課題】 高い感度、解像度が損なわれることなく、レジスト溶剤への溶解性、レジスト溶液中でのマイクロゲル生成の抑制、レジストパターン側壁の平坦性に優れたレジスト用共重合体を提供する。【解決手段】 脂環式骨格を有する単量体単位(A)、ラクトン骨格を有する単量体単位(B)、およびこれらの単量体単位と共重合可能な他のビニル系単量体単位(C)よりなる群から選ばれた少なくとも2種類以上の単量体単位を含むレジスト用共重合体であって、各々の単量体単位の3連子の割合が共重合体中それぞれ15モル%未満であることを特徴とするレジスト用共重合体;およびその製造方法;ならびにその共重合体を含むレジスト組成物。
請求項（抜粋）：
脂環式骨格を有する単量体単位(A)、ラクトン骨格を有する単量体単位(B)、およびこれらの単量体単位と共重合可能な他のビニル系単量体単位(C)よりなる群から選ばれた少なくとも2種類以上の単量体単位を含むレジスト用共重合体であって、各々の単量体単位の3連子の割合が共重合体中それぞれ15モル%未満であることを特徴とするレジスト用共重合体。
IPC (4件)：
C08F220/18 ,  C08F 2/06 ,  C08F220/28 ,  G03F 7/039 601
FI (4件)：
C08F220/18 ,  C08F 2/06 ,  C08F220/28 ,  G03F 7/039 601
Fターム (39件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC03 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025CB08 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025FA17 ,  4J011HA03 ,  4J011HB06 ,  4J011HB14 ,  4J100AB02R ,  4J100AJ02R ,  4J100AJ09R ,  4J100AK32R ,  4J100AL02R ,  4J100AL03R ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL09R ,  4J100AM02R ,  4J100AM15R ,  4J100BA05 ,  4J100BA11 ,  4J100BC04 ,  4J100BC09 ,  4J100BC12 ,  4J100BC37 ,  4J100BC53 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100FA19 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (6件)
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