カーボンナノファイバの製造方法およびその方法を実施するためのカーボンナノファイバ製造装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-278881
公開番号（公開出願番号）：特開2007-091481
出願日： 2005年09月26日
公開日（公表日）： 2007年04月12日
要約：

【課題】基板面全体にわたりカーボンナノファイバを均一に成膜させること。【解決手段】カーボンナノファイバ4の成膜を促進する物質である触媒金属(触媒微粒子)3aを配置してある基板1を、熱エネルギが付与されている雰囲気内に配置し、触媒金属に炭素を含むガスを接触させて基板面上にカーボンナノファイバ1を製造する方法において、ガス流速を一定範囲に制御しながら当該ガスを基板面にほぼ平行に沿わせて強制的に流す製造方法。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

カーボンナノファイバの成膜を促進する物質である触媒金属を配置してある基板を、熱エネルギが付与されている雰囲気内に配置し、上記触媒金属に炭素を含むガスを接触させて基板面上にカーボンナノファイバを製造する方法において、上記ガスの流速を一定範囲に制御しながら当該ガスを基板面にほぼ平行に沿わせて強制的に流す、ことを特徴とするカーボンナノファイバの製造方法。

IPC (1件)：

C01B 31/02

FI (1件)：

C01B31/02 101F

Fターム (10件)：

4G146AA11 , 4G146AB06 , 4G146AB07 , 4G146BA12 , 4G146BA48 , 4G146BC01 , 4G146BC09 , 4G146BC43 , 4G146DA03 , 4G146DA22

引用特許：

出願人引用 (1件)

電子放出素子、電子源、画像形成装置及び電子放出素子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-201326 出願人：キヤノン株式会社

審査官引用 (6件)

気相成長炭素繊維の製造方法及び気相成長炭素繊維
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-111611 出願人：JFEケミカル株式会社, 株式会社アルバック
カーボンナノチューブの形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-182468 出願人：本田技研工業株式会社, 中山喜萬
カーボンナノチューブの自己配向性束及びその製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-583057 出願人：ザボードオブトラスティーズオブザリーランドスタンフォードジュニアユニバーシティ

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