感放射線性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福沢俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-367470
公開番号（公開出願番号）：特開2005-134456
出願日： 2003年10月28日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：

【課題】193nm以下の波長で透明性が高く、特にLERに優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、下記式(I)で表される構造単位を有する樹脂、(B)下記式(II)で表される繰り返し単位を有する樹脂および(C)感放射線性酸発生剤を含有する。【化1】〔R1 は置換されてもよい2価の(脂環式)炭化水素を示し、R2 は低級アルキル基または1価の(置換)脂環式炭化水素基を示すか、あるいは何れか2つのR2 が相互に結合して2価の(置換)脂環式炭化水素基を形成し、残りのR2 が該低級アルキル基または1価の(置換)脂環式炭化水素基を示す。〕【化2】〔R3 はH、Fまたはトリフルオロメチル基を示し、R4 は(c+1)価の(置換)炭化水素基、(置換)脂環式炭化水素または(置換)芳香族基を示し、R5 はHまたは1価の酸解離性基を示し、aおよびbは0〜3で、(a+b)≧1を満たし、cは1〜3である。〕【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)下記式(I)で表される構造単位を有する樹脂、(B)下記式(II)で表される繰り返し単位を有する樹脂および(C)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F7/039 , C08F22/20 , G03F7/075 , H01L21/027

FI (4件)：

G03F7/039 601 , C08F22/20 , G03F7/075 511 , H01L21/30 502R

Fターム (65件)：

2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC05 , 2H025AC06 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BG00 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100BA03P , 4J100BB18P , 4J100BC03Q , 4J100BC08P , 4J100CA01 , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100DA01 , 4J100JA38 , 4J246AA03 , 4J246AB13 , 4J246BA02X , 4J246BA020 , 4J246BA12X , 4J246BA120 , 4J246BB02X , 4J246BB020 , 4J246BB022 , 4J246CA24X , 4J246CA240 , 4J246CA46X , 4J246CA460 , 4J246CA47X , 4J246CA470 , 4J246CA54X , 4J246CA540 , 4J246CA63X , 4J246CA630 , 4J246CB08 , 4J246FA071 , 4J246FA081 , 4J246FA131 , 4J246FA431 , 4J246FA471 , 4J246FB031 , 4J246FB041 , 4J246FB051 , 4J246FB081 , 4J246FB091 , 4J246FB211 , 4J246FB221 , 4J246FB231 , 4J246FC061 , 4J246FC091 , 4J246FC211 , 4J246FC221 , 4J246FC251 , 4J246GA01 , 4J246GC25 , 4J246GC26 , 4J246GD08 , 4J246HA15

引用特許：

出願人引用 (5件)

放射線感応性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-124774 出願人：沖電気工業株式会社
ポジ型レジスト材料
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-331724 出願人：信越化学工業株式会社, 日本電信電話株式会社
重合体、レジスト樹脂組成物、及びそれらを用いたパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-219539 出願人：昭和電工株式会社

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