特許
J-GLOBAL ID：200903000822885000

X線回折装置及び試料の測定方法

発明者：
和田 充弘

和田 充弘 について

, 
田平 泰規

田平 泰規 について


出願人/特許権者：
三井金属鉱業株式会社

三井金属鉱業株式会社 について


代理人 (4件)： 光石 俊郎 ,  光石 忠敬 ,  田中 康幸 ,  松元 洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-194438
公開番号（公開出願番号）：特開2006-017543
出願日： 2004年06月30日
公開日（公表日）： 2006年01月19日
要約：
【課題】 試料のガスとの反応量に対する試料の結晶構造等の回折結果を同時に測定可能なX線回折装置及び試料の測定方法を提供する。【解決手段】 X線発生手段1とチャンバー部2-1とX線検出器3とを備え、チャンバー部2-1内の試料にX線を照射し、当該試料からの回折X線を測定するX線回折装置において、チャンバー部2-1を真空とする真空排気手段(符号11,12等)と、チャンバー部2-1に各種ガスを導入するガス導入手段(符号13等)と、チャンバー部2-1内のガス変化量を測定するガス量測定手段(符号5,6,7等)とを有し、X線検出器3は、同時に複数の回折X線を検出できるように複数のX線検出素子を配列してなり、少なくともガス量測定手段とX線検出器とを制御すると共に、これらからデータを取得する制御手段(符号10等)を備えたX線回折装置とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
X線発生手段とチャンバー部とX線検出器とを備え、前記チャンバー部内の試料にX線を照射し、当該試料からの回折X線を測定するX線回折装置において、 前記チャンバー部を真空とする真空排気手段と、前記チャンバー部に各種ガスを導入するガス導入手段と、前記チャンバー部内のガス変化量を測定するガス量測定手段とを有し、 前記X線検出器は、同時に複数の回折X線を検出できるように複数のX線検出素子を配列してなり、 少なくとも前記ガス量測定手段と前記X線検出器とを制御すると共に、これらからデータを取得する制御手段を備えたことを特徴とするX線回折装置。
IPC (1件)：
G01N 23/207
FI (1件)：
G01N23/207
Fターム (10件)：
2G001AA01 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001GA01 ,  2G001GA13 ,  2G001JA12 ,  2G001JA14 ,  2G001KA01 ,  2G001KA08 ,  2G001LA02
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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