特許
J-GLOBAL ID：200903001090329830
薄膜圧電共振器及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
三好 秀和
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 川又 澄雄
, 中村 友之
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-194380
公開番号（公開出願番号）：特開2006-019935
出願日： 2004年06月30日
公開日（公表日）： 2006年01月19日
要約：
【課題】 高融点金属を上部電極として用いた場合に特有の抵抗上昇、残留応力の増加を回避し、上部電極の直列抵抗が小さく、且つ電気機械結合係数kt2の大きな薄膜圧電共振器を提供する。【解決手段】 基板11と、 この基板11に対して一部が中空状態で機械的に保持された下部電極14と、この下部電極14上に配置された圧電体膜15と、この圧電体膜15上の上部電極16とを備え、上部電極16が圧電体膜15の厚み方向に配向した結晶軸を有し、この結晶軸に関する配向半値幅が6°以下であり、厚み方向の圧電体膜15中のバルク振動を利用する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板と、
該基板に対して一部が中空状態で機械的に保持された下部電極と、
該下部電極上に配置された圧電体膜と、
該圧電体膜上の上部電極
とを備え、前記上部電極が前記圧電体膜の厚み方向に配向した結晶軸を有し、該結晶軸に関する配向半値幅が6°以下であることを特徴とする薄膜圧電共振器。
IPC (6件)：
H03H 9/17
, H03H 3/02
, H01L 41/09
, H01L 41/187
, H01L 41/18
, H01L 41/22
H03H9/17 F
, H03H3/02 B
, H01L41/08 L
, H01L41/08 J
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101Z
, H01L41/22 Z
5J108AA07
, 5J108BB07
, 5J108BB08
, 5J108CC11
, 5J108EE03
, 5J108EE04
, 5J108EE07
, 5J108FF05
, 5J108KK07
, 5J108MM11
出願人引用 (2件)
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音響共振器とその製作方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-154956
出願人：ヒューレット・パッカード・カンパニー
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米国特許第5,587,620号明細書
審査官引用 (6件)
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