特許
J-GLOBAL ID:200903001345115570

ガスセンサ素子の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高橋 祥泰 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-130166
公開番号(公開出願番号):特開2002-323471
出願日: 2001年04月26日
公開日(公表日): 2002年11月08日
要約:
【要約】【課題】 均一でばらつきのない多孔質層を設けることができるガスセンサ素子の製造方法を提供すること。【解決手段】 ディップ槽11と粘度調整槽12との間で循環ポンプ14を用いてスラリー3を強制循環させつつ,固体電解質体21をディップ槽11におけるスラリー3に浸漬し,浸漬により固体電解質体21の所定の箇所にスラリー膜を設け,該スラリー膜を焼成により多孔質層とする。
請求項(抜粋):
内部に基準ガス室を設けたコップ型固体電解質体と該固体電解質体の内側表面及び外側表面にそれぞれ形成された一対の内側及び外側電極と,該外側電極を被覆するように形成された多孔質層とよりなるガスセンサ素子を製造するにあたり,上記固体電解質体を作製し,その内側表面及び外側表面の所定の箇所に内側電極及び外側電極を設け,上記固体電解質体を多孔質層形成用のスラリーに浸漬し,かつ上記浸漬の際には,多孔質層形成用のスラリーで満たされ,上記固体電解質体の浸漬を行うディップ槽と,上記スラリーの粘度を測定する粘度計と該粘度計の値に基づいて上記スラリーの粘度を調整する粘度調整機構を備えた粘度調整槽とよりなり,かつ上記ディップ槽と上記粘度調整槽との間で上記スラリーを強制循環させるための循環ポンプを設けた配管により上記ディップ槽と上記粘度調整槽とが結合されたディップ装置を用い,上記ディップ槽と上記粘度調整槽との間で上記循環ポンプを用いて上記スラリーを強制循環させつつ,上記固体電解質体を上記ディップ槽における上記スラリーに浸漬し,上記浸漬により上記固体電解質体の所定の箇所にスラリー膜を設け,該スラリー膜を焼成により多孔質層とすることを特徴とするガスセンサ素子の製造方法。
Fターム (3件):
2G004BB01 ,  2G004BF02 ,  2G004BM07
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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