スペーシング計測装置及び計測方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-054625
公開番号（公開出願番号）：特開2007-279023
出願日： 2007年03月05日
公開日（公表日）： 2007年10月25日
要約：

【課題】例えば10nm以下の微小なスペーシングを測定することが可能なスペーシング計測装置及び計測方法を提供する。【解決手段】被計測物Tの表面に透明体4を対向させ、透明体4を介して光を被計測物Tに出射し、被計測物Tの表面と透明体4との対向部に生じる干渉光の強度に基づいて被計測物Tと透明体4との間のスペーシングを算出するスペーシング計測装置であって、光を出射する光源1と、出射した光の強度を所定の周波数の変調波で変調させる変調手段2と、干渉光の光強度を電気信号に変換するセンシング手段7と、電気信号を、前記変調波を参照波として同期検波する同期検波手段8とを備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被計測物の表面に透明体を対向させ、前記透明体を介して光を前記被計測物に出射し、前記被計測物の表面と前記透明体との対向部に生じる干渉光の強度に基づいて前記被計測物と前記透明体との間のスペーシングを算出するスペーシング計測装置であって、光を出射する光源と、前記出射した光の強度を所定の周波数の変調波で変調させる変調手段と、前記干渉光の光強度を電気信号に変換するセンシング手段と、前記電気信号を、前記変調波を参照波として同期検波する同期検波手段とを備えたことを特徴とするスペーシング計測装置。

IPC (1件)：

G01B 11/14

FI (1件)：

G01B11/14 G

Fターム (25件)：

2F065AA22 , 2F065BB13 , 2F065BB15 , 2F065CC02 , 2F065DD04 , 2F065FF53 , 2F065FF61 , 2F065GG05 , 2F065HH03 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL04 , 2F065LL30 , 2F065LL32 , 2F065LL46 , 2F065MM03 , 2F065NN08 , 2F065QQ03 , 2F065QQ25 , 2F065RR07 , 2F065UU03 , 2F065UU05

引用特許：

出願人引用 (2件)

小さいスペーシングの干渉測定に関して、強度を較正し干渉縞のオーダを決定する方法および装置
公報種別：公表公報出願番号：特願平7-517555 出願人：フェイズ・メトリックス
微小距離測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-074297 出願人：ソニー株式会社

審査官引用 (8件)

微小距離測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-074297 出願人：ソニー株式会社
変位量測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-257681 出願人：横河電機株式会社
浮上すきま測定方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-001522 出願人：日本電信電話株式会社, エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社

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