特許
J-GLOBAL ID：200903001488561555

成膜用原料粉、及び、それを用いた成膜方法

発明者：
佐々木 勉

佐々木 勉 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (2件)： 渡部 温 ,  宇都宮 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-165960
公開番号（公開出願番号）：特開2005-344171
出願日： 2004年06月03日
公開日（公表日）： 2005年12月15日
要約：
【課題】 長時間に渡るAD法による成膜過程においても凝集し難い原料粉を提供する。 【解決手段】 原料粉を基板に向けて噴射することにより、基板上に上記原料粉の組成材料を堆積させる成膜方法において用いられる原料粉であって、母材粒子11と、母材粒子よりも小さい粒径を有し、該母材粒子の表面を覆うように固着している微粉末粒子12とを含む。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
原料粉を基板に向けて噴射することにより、前記基板上に前記原料粉の組成材料を堆積させる成膜方法において用いられる原料粉であって、 母材となる第1の粒子と、 前記第1の粒子よりも小さい粒径を有し、前記第1の粒子の表面を覆うように固着している第2の粒子と、 を具備する成膜用原料粉。
IPC (3件)：
C23C24/04 ,  H01L41/18 ,  H01L41/24
FI (3件)：
C23C24/04 ,  H01L41/22 A ,  H01L41/18 101Z
Fターム (11件)：
4K044AA06 ,  4K044BA01 ,  4K044BA11 ,  4K044BA12 ,  4K044BA13 ,  4K044BA14 ,  4K044BB01 ,  4K044BB03 ,  4K044BC06 ,  4K044CA23 ,  4K044CA29
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
  • 複合銅微粉末及びその製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-152755   出願人：三井金属鉱業株式会社
  • 特開平3-075302
  • 特開平3-075302
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