特許
J-GLOBAL ID：200903001617592756

処理方法及び処理装置

発明者：
松本 賢治

松本 賢治 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-227899
公開番号（公開出願番号）：特開2007-036265
出願日： 2006年08月24日
公開日（公表日）： 2007年02月08日
要約：
【課題】液体混合原料を気化して処理ガスとして用いる処理装置において、複数種類の液体混合原料を順次供給する際に、液体混合原料の切り替えに要する時間を短縮することを課題とする。【解決手段】金属元素を含む第1の液体材料を第1の送液配管20,22,24を介して第3の送液配管30へ供給し、第1の液体材料の各溶液原料を混合した第1の混合液体材料を気化器32に供給する。第1の液体材料を第1の送液配管を介して第3の送液配管30へ供給し、残留している第1の液体材料を、第1の液体材料の各溶液原料を混合した第2の混合液体材料により、第3の送液配管30の気化器32手前の位置に接続されたドレイン配管38に押し出す。第1の液体材料を第1の送液配管を介して第3の送液配管30へ供給し、混合した第2の混合液体材料を気化器32に供給する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
液体材料を気化して生成した気体を用いて被処理体を処理する処理方法であって、 金属元素を含む溶液原料群から選ばれた第1の液体材料を第1の送液配管を介して第3の送液配管へ供給し、第3の送液配管において前記第1の液体材料の各溶液原料を第1の所定の混合比で混合した第1の混合液体材料を気化器に供給する第1の液体材料供給工程と、 前記第1の液体材料を前記第1の送液配管を介して前記第3の送液配管へ供給し、前記第3の送液配管に残留している前記第1の液体材料を、前記第1の液体材料の各溶液原料を第2の所定の混合比で混合した第2の混合液体材料により、前記第3の送液配管の前記気化器手前の位置に接続されたドレイン配管に押し出して置換する切り替え工程と、 前記第1の液体材料を前記第1の送液配管を介して前記第3の送液配管へ供給し、前記第3の送液配管において混合した前記第2の混合液体材料を前記気化器に供給する第2の液体材料供給工程と を有することを特徴とする処理方法。
IPC (4件)：
H01L 21/31 ,  C23C 16/448 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/105
FI (3件)：
H01L21/31 B ,  C23C16/448 ,  H01L27/10 444C
Fターム (33件)：
4K030AA11 ,  4K030BA01 ,  4K030BA18 ,  4K030BA22 ,  4K030BA42 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030EA01 ,  4K030FA10 ,  4K030KA41 ,  4K030LA15 ,  5F045AA04 ,  5F045AB31 ,  5F045AC07 ,  5F045AD07 ,  5F045AD08 ,  5F045AD09 ,  5F045AD10 ,  5F045AD11 ,  5F045BB05 ,  5F045CA05 ,  5F045EC07 ,  5F045EE02 ,  5F045EE04 ,  5F045EE14 ,  5F045EF05 ,  5F083JA02 ,  5F083JA14 ,  5F083JA15 ,  5F083JA17 ,  5F083JA43 ,  5F083JA45 ,  5F083PR21
引用特許：
出願人引用 (8件)
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