特許
J-GLOBAL ID：200903001673591363
積層構造体の製造方法および積層構造体
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
平田 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-012690
公開番号（公開出願番号）：特開2004-223637
出願日： 2003年01月21日
公開日（公表日）： 2004年08月12日
要約：
【課題】積層方向の高さが数百μm以上の高い積層構造体であっても短時間で製造することができる積層構造体の製造方法および積層構造体を提供する。【解決手段】構造体の断面パターンに対応する複数の断面形状部材11-1〜11-3が、枠状部材12に連結部材13で一体に連結されたパターン部材1を、板状の金属部材をパターンニング加工して形成する。このパターン部材1を、支持台3に粘着シート2を介して固定する。そして、パターン部材1における各断面形状部材11-1〜11-3を、ターゲット基板4に順次転写しながら積層し、構造体5を製造する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
構造体の断面パターンに対応する複数の断面形状部材が連結部材によって連結されたパターン部材をパターニング加工によって形成する第1の工程と、
前記パターン部材を支持台上に固定する第2の工程と、
前記パターン部材における前記複数の断面形状部材を、ターゲット基板に順次転写して積層する第3の工程とを備え、
前記第3の工程における前記複数の断面形状部材の転写は、前記連結部材が破断して行われることを特徴とする積層構造体の製造方法。
IPC (3件)：
B81C3/00
, B29C67/00
, B81B1/00
B81C3/00
, B29C67/00
, B81B1/00
4F213AD03
, 4F213WA25
, 4F213WA53
, 4F213WA62
, 4F213WB01
, 4F213WL02
, 4F213WL22
, 4F213WL67
