特許
J-GLOBAL ID：200903061669281689

微小構造体およびその製造方法

発明者：
山田 高幸

山田 高幸 について

, 
高橋 睦也

高橋 睦也 について


出願人/特許権者：
富士ゼロックス株式会社

富士ゼロックス株式会社 について


代理人 (1件)： 平田 忠雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-209365
公開番号（公開出願番号）：特開2002-018798
出願日： 2000年07月11日
公開日（公表日）： 2002年01月22日
要約：
【要約】【課題】 高さが数百ミクロン以上となる微小構造体でも、短時間に製造することが可能な微小構造体およびその製造方法を提供する。【解決手段】 支持基板1上に接着層2を介して板状部材3を貼り付け、フォトリソグラフィー法を用いて板状部材3を貫通するまでパターニングして複数の断面パターン部材31,32,33を一括して形成する。これらの断面パターン部材31,32,33を対向基板4上に順次接合転写すると、対向基板4の上に微小構造体5が完成する。
請求項（抜粋）：
所定のパターンおよび所定の厚さを有する複数の板状部材を接合して積層されたことを特徴とする微小構造体。
IPC (5件)：
B81B 1/00 ,  B81C 1/00 ,  C23C 28/00 ,  F16H 55/06 ,  F16H 55/17
FI (5件)：
B81B 1/00 ,  B81C 1/00 ,  C23C 28/00 E ,  F16H 55/06 ,  F16H 55/17 Z
Fターム (8件)：
3J030AC03 ,  3J030BC01 ,  3J030BC10 ,  4K044AA11 ,  4K044BA10 ,  4K044BB10 ,  4K044CA13 ,  4K044CA51
引用特許：
審査官引用 (6件)
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