ヒータユニット

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：志賀正武 , 青山正和 , 鈴木慎吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-070991
公開番号（公開出願番号）：特開2007-246972
出願日： 2006年03月15日
公開日（公表日）： 2007年09月27日
要約：

【課題】らせん状に進行する帯状体2を真空中で均一に高温加熱することが可能なヒータユニット60を提供する。【解決手段】らせん状に進行する帯状体2に対して真空中で熱処理を行うヒータユニット60であって、複数の金属線を撚り合わせた線材が帯状体2と平行な水平面内においてつづら折り状に配置された線材ヒータ62を備えている。その線材ヒータ62は、第1支持部材64および第2支持部材74により、フレーム90に対して伸縮自在に支持されている。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

らせん状に進行する帯状体に対して真空中で加熱処理を行うヒータユニットであって、複数の金属線を撚り合わせた線材が前記帯状体と平行な水平面内においてつづら折り状に配置された線材ヒータを備え、前記線材ヒータは、伸縮自在に支持されていることを特徴とするヒータユニット。

IPC (7件)：

C23C 14/56 , H05B 3/06 , H05B 3/56 , H05B 3/00 , F27B 9/04 , F27B 9/06 , F27D 11/02

FI (7件)：

C23C14/56 D , H05B3/06 D , H05B3/56 Z , H05B3/00 345 , F27B9/04 , F27B9/06 E , F27D11/02 A

Fターム (48件)：

3K058AA86 , 3K058BA14 , 3K058BA19 , 3K058CE12 , 3K058CE16 , 3K058EA02 , 3K092PP09 , 3K092QA03 , 3K092QB02 , 3K092QB26 , 3K092QB45 , 3K092QC59 , 3K092RE01 , 3K092TT05 , 3K092VV02 , 3K092VV22 , 3K092VV26 , 4K029AA02 , 4K029AA25 , 4K029BA43 , 4K029BC04 , 4K029CA01 , 4K029CA02 , 4K029DA08 , 4K029DB03 , 4K029DB05 , 4K029FA05 , 4K029JA10 , 4K029KA03 , 4K050AA02 , 4K050BA01 , 4K050BA05 , 4K050BA11 , 4K050CB03 , 4K050CC02 , 4K050CD06 , 4K050CD08 , 4K050CD22 , 4K063AA05 , 4K063AA12 , 4K063AA16 , 4K063BA02 , 4K063BA03 , 4K063BA04 , 4K063BA16 , 4K063CA03 , 4K063FA03 , 4K063FA18

引用特許：

出願人引用 (2件)

線材の連続蒸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-011627 出願人：ロック技研工業株式会社
表面処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-345077 出願人：ヒラノ光音株式会社

審査官引用 (4件)

基板処理装置及び基板処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-000267 出願人：キヤノン株式会社
薄膜の形成方法及び形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-053298 出願人：株式会社フジクラ
特開昭63-284787

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