外周体の周期構造体加工方法と外周体の周期構造体加工装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：石垣達彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-037964
公開番号（公開出願番号）：特開2008-200699
出願日： 2007年02月19日
公開日（公表日）： 2008年09月04日
要約：

【課題】外周体に特化して周期構造(微細周期性溝やディンプル溝)の規則性形状を狂わせることなく高精度に整列加工できるようにした外周体の周期構造加工方法とその装置を提供する。【解決手段】直線偏光のフェムト秒レーザを回転可能に設けられた第一回転筒体41内に導き、第一回転筒体内に配置したλ/2板により直線偏光の偏光方向を変化させるとともに、第一回転筒体に対して軸芯O2を合わせて回転可能に設けられた第二回転筒体49内に配置された集光レンズR3と反射ミラーMとによりフェムト秒レーザを集光しつつ外径方向に進ませ、反射ミラーの外周囲にチャック手段7で把持された外周体Wの外周面W1を対面させてフェムト秒レーザを照射させ、反射ミラーを備えた第二回転筒体の回転1回転に対してλ/2板を備えた第一回転筒体を1/2回転させ、外周体の外周面に周期性溝を同一方向に整列加工する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

フェムト秒レーザ発振器から発射される直線偏光のフェムト秒レーザを回転可能に設けられた第一回転筒体内に導き、第一回転筒体内に配置されたλ/2板により直線偏光の偏光方向を変化させるとともに、上記第一回転筒体に対して軸芯を合わせて回転可能に設けられた第二回転筒体内に配置された集光レンズと反射ミラーとによりフェムト秒レーザを集光しつつ外径方向に進ませ、上記反射ミラーの外周囲にチャック手段で把持された外周体の外周面を対面させて上記フェムト秒レーザを照射させ、上記反射ミラーを備えた上記第二回転筒体の回転1回転に対して上記λ/2板を備えた上記第一回転筒体を1/2回転させ、上記両筒体の回転に同期させながら上記外周体を上記反射ミラーの外周囲に自転停止状態で公転させて上記外周体の外周面に周期性溝を同一方向に整列加工することを特徴とする外周体の周期構造体加工方法。

IPC (4件)：

B23K 26/36 , B23K 26/06 , B23K 26/073 , B23K 26/08

FI (4件)：

B23K26/36 , B23K26/06 Z , B23K26/073 , B23K26/08 F

Fターム (7件)：

4E068AH00 , 4E068CB01 , 4E068CB10 , 4E068CD08 , 4E068CE02 , 4E068CE04 , 4E068DA02

引用特許：

出願人引用 (8件)

超短パルスレーザーを用いた微細加工方法及びその加工物
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-012391 出願人：科学技術振興事業団, アイテック株式会社
レーザ加工装置とレーザ加工方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-142256 出願人：株式会社産学連携機構九州
フェムト秒レーザー照射による周期微細構造の作成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-248433 出願人：科学技術振興事業団

全件表示

前のページに戻る