特許
J-GLOBAL ID：200903096927924873

ステージ装置及びその制御方法

発明者：
是永 伸茂

是永 伸茂 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (4件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-339750
公開番号（公開出願番号）：特開2004-172557
出願日： 2002年11月22日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：
【課題】微動ステージを搭載した搬送質量の大きな可動体を加速できる非接触ガイドが提供される。【解決手段】X軸方向に延びるYスライダ302は、Yリニアモータ340によってY軸方向へ移動が可能である。微動ステージ360を搭載したXスライダ303は、Yスライダ302にガイドされて、Xリニアモータ320によりX軸方向へ移動可能である。Xスライダ303にはYスライダ302のガイド面に対向してY電磁石101が設けられ、Yスライダ302のガイド面にはY吸引板102が設けられる。これにより、Xスライダ303とYスライダ302との間に、Y軸方向に沿った吸引力を発生して、Xスライダ303とYスライダ302とを非接触に保つとともに、Yスライダ302がY軸方向へ移動する際には、Xスライダ303に対して適切な加速力が付与される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
第1の方向に延び、該第1の方向と直角な第2の方向へ移動可能な第1方向ガイドと、 前記第1方向ガイドを前記第2の方向へ移動させる駆動機構と、 前記第1方向ガイドにガイドされて、前記第1の方向に移動可能な可動体と、 前記可動体と前記第1方向ガイドとの間に、前記第2の方向に沿った電磁力を発生して、該可動体と該第1方向ガイドとを非接触に保つ電磁力発生手段と を備えることを特徴とするステージ装置。
IPC (4件)：
H01L21/027 ,  H01L21/68 ,  H02K41/02 ,  H02K41/03
FI (4件)：
H01L21/30 503A ,  H01L21/68 K ,  H02K41/02 C ,  H02K41/03 A
Fターム (24件)：
5F031CA02 ,  5F031HA53 ,  5F031HA57 ,  5F031KA06 ,  5F031LA04 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F031PA04 ,  5F031PA30 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC17 ,  5F046CC18 ,  5H641BB06 ,  5H641BB15 ,  5H641BB16 ,  5H641GG02 ,  5H641GG03 ,  5H641GG05 ,  5H641GG07 ,  5H641HH02 ,  5H641HH03 ,  5H641JA07 ,  5H641JA09
引用特許：
審査官引用 (17件)
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