特許
J-GLOBAL ID：200903002123528857

静電吸着装置及び真空処理装置

発明者：
不破 耕

不破 耕 について

, 
前平 謙

前平 謙 について


出願人/特許権者：
株式会社アルバック

株式会社アルバック について


代理人 (1件)： 石島 茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-229464
公開番号（公開出願番号）：特開2003-045949
出願日： 2001年07月30日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
要約：
【要約】【課題】静電チャックプレートで、電極を保護する防着板の交換を容易にする技術に関する。【解決手段】本発明の静電吸着装置21は、チャック本体20と、その表面に載置され、チャック本体20に対して着脱可能な防着シート90とを有している。このため、基板5を防着シート90上に載置して基板5の表面に薄膜を成膜する際に、防着シート90の表面にも薄膜が析出し、析出した薄膜が原因でパーティクルの原因になるので、防着シート90を交換する必要があるが、防着シート90は単にチャック本体20の表面に載置され、容易に着脱可能なので、交換に要する作業が従来に比して簡単になり、交換作業に要するコストを低減できる。
請求項（抜粋）：
誘電体層と、前記誘電体層に設けられた電極とを有するチャック本体と、薄板状の薄板部分を有する防着体とを有し、前記薄板部分は、前記チャック本体の表面に配置され、前記薄板部分上に基板を載置した状態で、前記電極に電圧を印加すると、前記基板と前記電極との間に吸着力が生じ、該吸着力で前記基板が前記薄板部分に押し付けられるように構成された静電吸着装置であって、前記防着体は、前記チャック本体に対して着脱可能に構成されたことを特徴とする静電吸着装置。
IPC (5件)：
H01L 21/68 ,  C23C 14/50 ,  C23C 16/458 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31
FI (5件)：
H01L 21/68 R ,  C23C 14/50 A ,  C23C 16/458 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 B
Fターム (21件)：
4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029BD01 ,  4K029JA05 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030GA02 ,  5F031CA01 ,  5F031CA04 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA16 ,  5F031MA28 ,  5F031PA07 ,  5F045AA03 ,  5F045AA19 ,  5F045BB15 ,  5F045DP03 ,  5F045EM05 ,  5F045EM06 ,  5F045EM09
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (10件)
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