特許
J-GLOBAL ID：200903002421836505
フォイル・トラップを備えたレーザー生成プラズマ放射システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
浅村 皓
, 浅村 肇
, 岩本 行夫
, 吉田 裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-187221
公開番号（公開出願番号）：特開2005-020006
出願日： 2004年06月25日
公開日（公表日）： 2005年01月20日
要約：
【課題】光源から生じる放射がフォイル・トラップを2度通過するように、垂直入射コレクタなどのコレクタと(プラズマ)光源の間にフォイル・トラップを有する放射システムを提供すること。【解決手段】放射がフォイル・トラップを通過するのは、1度はコレクタに当たる前、2度目はコレクタによって反射された後である。この構成は、これまで不可能であると考えられていた。フォイル・トラップが光源から生じる放射とコレクタに反射された放射の両方に平行な薄板を有するため、放射がフォイル・トラップによって遮られることはない。このようにして、プラズマによって生成される放射源と共に使用する垂直入射コレクタを、EUV源から生じる破片から保護することができる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
放射源(32)と、
前記放射源(32)から生じる放射を集めるためのコレクタ(22)と、
前記放射源(32)から生じる汚染粒子を捕らえるための汚染バリア(24)であって、フォイル・トラップが、前記放射源(32)から生じる放射(34)を通過するように前記放射源(32)と前記コレクタ(22)の間に配置される汚染バリア(24)と
を有する放射の投影ビームを提供するための放射システム(20)において、
前記コレクタ(22)が、前記コレクタによって反射された放射(36)が前記汚染バリア(24)を通過するように構成され、前記汚染バリアが前記反射された放射(36)の伝播方向に平行なそれぞれの面内に配置された複数の薄板(44、51)を有することを特徴とする放射システム(20)。
IPC (6件)：
H01L21/027
, G03F7/20
, G21K1/00
, G21K1/06
, G21K5/02
, H05H1/24
H01L21/30 531A
, G03F7/20 503
, G21K1/00 X
, G21K1/06 B
, G21K1/06 M
, G21K5/02 X
, H05H1/24
2H097BA04
, 2H097BA10
, 2H097CA15
, 5F046GA20
, 5F046GB09
, 5F046GC05
