特許
J-GLOBAL ID：200903071196448705

多層膜X線反射鏡およびそれを用いたレーザープラズマX線発生装置

発明者：
竹中 久貴

竹中 久貴 について

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望月 孝晏

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出願人/特許権者：
エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社

エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社 について

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望月 孝晏

望月 孝晏 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-078336
公開番号（公開出願番号）：特開平11-258396
出願日： 1998年03月11日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【課題】 波長範囲69.5Å〜124 Åで高い軟X線反射率を有する多層膜X線ミラーあるいは高い軟X線反射率を有し、かつ、高熱安定な多層膜X線ミラーの実現と大きな集光立体角をもつレーザープラズマX線発生装置の実現。【解決手段】 多層膜X線ミラーの一方の層の材料としてRuあるいはRhを使用し、他の一方の層にBeを使用する、あるいは、一方の層の材料として金属同士の化合物あるいは金属にB 、C 、O 、N などの軽元素を添加させた材料を使用し、他の一方の層にBeを使用する。これら他X線反射鏡を用いて構成するX線光学系をX線射出部として組み込む。
請求項（抜粋）：
軟X線波長範囲69.5Å〜124 Åを対象とした2 種以上の複数層を複数回積層させた多層膜X線反射鏡の構成材料に少なくともRh、Ruの一種を含む層、およびB 、Be、Be化合物の少なくとも一種を含む層を使用したことを特徴とする多層膜X線反射鏡。
IPC (2件)：
G21K 1/06 ,  H05G 2/00
FI (2件)：
G21K 1/06 C ,  H05G 1/00 K
引用特許：
審査官引用 (18件)
  • 特開昭62-297800
  • 特開昭63-088503
  • 多層膜反射鏡
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-257099   出願人：株式会社ニコン
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