特許
J-GLOBAL ID：200903003197039331

温度測定装置、チャックモニター及びプラズマ処理装置

発明者：
藤井 佳詞

藤井 佳詞 について


出願人/特許権者：
株式会社アルバック

株式会社アルバック について


代理人 (2件)： 阿部 英樹 ,  石島 茂男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-388854
公開番号（公開出願番号）：特開2005-147976
出願日： 2003年11月19日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：
【課題】外乱となる電磁波の影響を受けることなく温度測定を精度良く行うことが可能な簡素な構成の温度測定装置を提供する。 【解決手段】本発明の温度測定装置は、所定の処理槽内における基板10の温度を測定する赤外線型温度測定ユニット6を備えた温度測定装置である。基板10と赤外線型温度測定ユニット6との間には、赤外線を遮断する材料からなり基板10に接触可能に構成された遮蔽部8の温度を、赤外線型温度測定ユニット6によって測定するように構成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
所定の処理槽内における処理対象物の温度を測定する温度測定部を備えた温度測定装置であって、 前記処理対象物と前記温度測定部との間に、所定の電磁波を遮断する材料からなり前記処理対象物に接触可能に構成された遮蔽部が設けられ、当該遮蔽部の温度を前記温度測定部によって測定するように構成されている温度測定装置。
IPC (4件)：
G01K1/14 ,  G01J5/02 ,  G01K7/02 ,  G01K11/20
FI (4件)：
G01K1/14 L ,  G01J5/02 K ,  G01K7/02 Z ,  G01K11/20
Fターム (17件)：
2F056CL12 ,  2F056CL13 ,  2F056GJ06 ,  2F056KA03 ,  2F056KA12 ,  2G066AC01 ,  2G066AC20 ,  2G066BA38 ,  2G066BB01 ,  2G066BB07 ,  4K029AA24 ,  4K029DA08 ,  4K029DA10 ,  4K029DC00 ,  4K029EA00 ,  4K029EA08 ,  4K029JA06
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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