円筒型電子源を用いた冷陰極及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：平木祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-204343
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035351
出願日： 1999年07月19日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】直径及び長さが均一な、配列制御されたカーボンナノチューブを用いた冷陰極を提供する。【解決手段】電界放出電子源が絶縁性の電子放出基体と導電性の円筒型電子源から構成され、前記電子放出基体が一方の第1の表面からもう一方の第2の表面に貫通した細孔を有し、円筒型電子源が前記貫通した細孔に充填され、第1の表面にゲート電極7が配設され、第2の表面にカソード電極4が配設される。円筒型電子源は、カーボンナノチューブ、カーボンファイバー、ダイアモンドライクカーボン、グラファイト、フラーレン又はボロンナイトライドとする。

請求項（抜粋）：

膜厚方向に貫通する多数の細孔を有する絶縁性の電子放出基体と、前記電子放出基体の前記細孔に充填された導電性の円筒型電子源と、前記電子放出基体の一方の表面に前記細孔の開口部を避けるようにして配設されたゲート電極と、前記電子放出基体の他方の表面に前記細孔に充填された円筒型電子源と接触して配設されたカソード電極とを含むことを特徴とする冷陰極。

IPC (4件)：

H01J 1/304 , H01J 9/02 , H01J 29/04 , H01J 31/12

FI (4件)：

H01J 1/30 F , H01J 9/02 B , H01J 29/04 , H01J 31/12 C

Fターム (11件)：

5C031DD09 , 5C031DD17 , 5C031DD19 , 5C036EE02 , 5C036EE14 , 5C036EF01 , 5C036EF06 , 5C036EF09 , 5C036EG12 , 5C036EH06 , 5C036EH08

引用特許：

審査官引用 (8件)

電子放出素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-015629 出願人：株式会社リコー
特開平4-036922
パッキング密度の高い電子放出デバイスの構造及び製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願平7-508713 出願人：シリコン・ビデオ・コーポレイション

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