力学的物理量変換器の製造方法およびその変換器

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木下實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-082148
公開番号（公開出願番号）：特開2001-274416
出願日： 2000年03月23日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：

【要約】【課題】接合強度がさらに向上し、充分な歩留まりが得られるようになる力学的物理量変換器の製造方法およびその変換器の提供。【解決手段】陽極接合においては、シリコン酸化膜11に含まれる酸素イオンの数と接合強度とが密接な関係にあるので、上ガラス30の表面に非晶質のシリコン酸化膜11を成膜するにあたり、モノシランガスに対して適度な量の亜酸化窒素ガスを加えてシリコン酸化膜11の成膜を行えば、陽極接合時に移動する酸素イオンの数が増え、シリコン酸化膜11が形成された上ガラス30とシリコン基板2との接合強度が向上し、これにより変換器の歩留まりが改善される。

請求項（抜粋）：

力学的物理量の感応部が設けられたシリコン基板とガラス基板とを相互接合して形成した力学的物理量変換器の製造方法であって、前記ガラス基板の表面に、非晶質のシリコン酸化膜を形成した後、このシリコン酸化膜が形成された面に前記シリコン基板を陽極接合することを特徴とする力学的物理量変換器の製造方法。

IPC (3件)：

H01L 29/84 , G01L 9/04 101 , G01L 9/12

FI (4件)：

H01L 29/84 Z , H01L 29/84 B , G01L 9/04 101 , G01L 9/12

Fターム (21件)：

2F055AA40 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD05 , 2F055DD07 , 2F055EE13 , 2F055EE25 , 2F055FF43 , 2F055GG01 , 2F055GG13 , 4M112AA01 , 4M112BA01 , 4M112BA07 , 4M112CA15 , 4M112DA02 , 4M112DA06 , 4M112DA17 , 4M112DA18 , 4M112EA02 , 4M112EA06 , 4M112EA13

引用特許：

審査官引用 (10件)

静電容量型トランスデューサの製造方法および静電容量型トランスデューサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-325385 出願人：長野計器株式会社
特開平3-084934
特開平3-080569

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