特許
J-GLOBAL ID：200903003787780452
研磨ヘッドの止め輪及びこれを備えた化学機械的研磨装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-187750
公開番号（公開出願番号）：特開2001-028351
出願日： 2000年06月22日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
要約：
【要約】【課題】 研磨ヘッドの内部に流れ込んだスラリー残骸などの汚れ物が効率良く排出できるようになった研磨ヘッドの止め輪及びこれを具備した化学機械的な研磨装置を提供する。【解決手段】 本発明に係る止め輪612は、研磨ヘッド610の内部に流れ込んだ汚れ物を排出するためにリング体の内周面と外周面との間を貫通する多数の汚れ物排出口6123を備えている。汚れ物排出口6123は、その内側開口及び外側開口が横長の形状の孔で、各々は複数の内側孔6124と内側孔6124を包む単一の外側孔6125とからなる。また、本発明に係る化学機械的研磨装置は、前述の止め輪612の他、汚れ物排出口6123を介して研磨ヘッド610の内部に純水を噴射する第3ノズルを備えた洗浄手段を含む。汚れ物排出口6123は、第3ノズルから噴射される純水が研磨ヘッド610の内部に容易に流れ込むように、外側ほどその断面の横方向の幅が広くなっている。
請求項（抜粋）：
化学機械的研磨装置の研磨ヘッドの下部縁部に取り付けられて研磨中にウェーハが離脱されることを防止する研磨ヘッドの止め輪において、リング状のリング体と、前記リング体を前記研磨ヘッドに取り付けるため、前記リング体の上面に設けられる多数のねじ孔と、前記研磨ヘッドの内部空間に流れ込んだ汚れ物を排出するため、前記リング体の内周面と外周面との間を貫通する多数の汚れ物排出口とを備えていることを特徴とする研磨ヘッドの止め輪。
IPC (4件)：
H01L 21/304 622
, H01L 21/304 621
, B24B 37/00
, B24B 37/04
H01L 21/304 622 G
, H01L 21/304 621 D
, B24B 37/00 K
, B24B 37/04 E
