特許
J-GLOBAL ID：200903003943561111
超音波洗浄方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 和夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-380954
公開番号（公開出願番号）：特開2003-181394
出願日： 2001年12月14日
公開日（公表日）： 2003年07月02日
要約：
【要約】【課題】 超音波発生部1に装着した超音波振動子2は被洗浄物7と平行に装着されているので、超音波振動子2から照射された超音波は被洗浄物7に垂直に当たるため、超音波振動子2と被洗浄物7との隙間に汚れが滞留し、汚れが被洗浄物7に再付着するという問題があった。【解決手段】 1は超音波発生部、2は超音波振動子、3は電極リード線、4はコネクタ、5はケーブル、7は被洗浄物、9はノズルであり、これらの構成は上記提案された超音波洗浄装置と同じであるので、説明は省略するが、本実施例では、上部に傾斜した背面10aを設け、下部に平らな超音波照射面10bを設けた振動部材10が装着され、この振動部材10の背面10aに超音波振動子2が装着され、振動部材10の超音波照射面10bに対向して被洗浄物7が微小間隙を設けて装着されている。
請求項（抜粋）：
傾斜した背面に超音波振動子を装着した振動部材の超音波照射面と被洗浄物との間に微小間隙を設けて支持し、該微小間隙に洗浄液を供給して前記超音波振動子から超音波を前記被洗浄物に照射して洗浄することを特徴とする超音波洗浄方法。
IPC (4件)：
B08B 3/12
, B06B 3/04
, B08B 3/02
, H01L 21/304 642
B08B 3/12 C
, B06B 3/04
, B08B 3/02 B
, H01L 21/304 642 E
3B201AA01
, 3B201AA46
, 3B201AB32
, 3B201BB02
, 3B201BB22
, 3B201BB32
, 3B201BB85
, 3B201BB92
, 5D107BB11
, 5D107CC10
, 5D107FF08
