特許
J-GLOBAL ID：200903004104028404

感放射線性樹脂組成物ならびに層間絶縁膜およびマイクロレンズの形成

発明者：
米田 英司

米田 英司 について

, 
濱田 謙一

濱田 謙一 について

, 
志保 浩司

志保 浩司 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-289471
公開番号（公開出願番号）：特開2007-101762
出願日： 2005年10月03日
公開日（公表日）： 2007年04月19日
要約：
【課題】安全性に問題がなく、感度、解像度、溶液としての保存安定性等に優れ、現像工程において最適現像時間を越えてもなお良好なパターン形状を形成できるような良好な現像マージンを有する感放射線性樹脂組成物ならびに該組成物から形成された層間絶縁膜およびマイクロレンズを提供すること。【解決手段】上記感放射線性樹脂組成物は、(a1)不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物から選択される少なくとも1種、(a2)特定のオキセタニル基含有不飽和化合物、(a3)特定の不飽和化合物の共重合体、ならびに〔B〕1,2-キノンジアジド化合物を含有する。【選択図】なし。
請求項（抜粋）：
〔A〕(a1)不飽和カルボン酸および不飽和カルボン酸無水物から選択される少なくとも1種、 (a2)下記一般式(1)
IPC (7件)：
G03F 7/023 ,  G03F 7/40 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027 ,  C08F 220/26 ,  G02B 1/04 ,  G02B 3/00
FI (7件)：
G03F7/023 ,  G03F7/40 501 ,  G03F7/004 511 ,  H01L21/30 502R ,  C08F220/26 ,  G02B1/04 ,  G02B3/00 A
Fターム (39件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096BA10 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096JA04 ,  4J100AB02S ,  4J100AJ02P ,  4J100AK32P ,  4J100AL03S ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL10S ,  4J100AS02S ,  4J100BB18Q ,  4J100BC03R ,  4J100BC04R ,  4J100BC43Q ,  4J100BC53Q ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100JA33 ,  4J100JA37
引用特許：
出願人引用 (5件)
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