特許
J-GLOBAL ID：200903004110976403

温度調整装置および温度調整方法

発明者：
弘田 浩之

弘田 浩之 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (4件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-049078
公開番号（公開出願番号）：特開2006-235205
出願日： 2005年02月24日
公開日（公表日）： 2006年09月07日
要約：
【課題】 外乱の影響を受けにくい温度調整方法および装置を提供する。【解決手段】 チラー56から冷却部材52を環流する冷媒の供給管58に可変バルブ66を設け、冷媒の流量を制御装置(PID)64で制御する。また台部19に温度センサ62を設け、台部19の温度を検出し制御装置64へ入力する構成とすることで、チラー56における冷媒の温度制御(第一次温調)の変動によって冷却部材52の温度が変動すると、温度センサ62が台部19の温度変化として検出し、制御装置64へデータとして送る。制御装置64は入力された温度データから冷媒温度の変動を検出し、冷媒の温度が規定の値よりも低くなれば可変バルブ66を作動させ、冷媒の流量を制御することで、冷却部材52の温度が下がりすぎることを防ぎ台部19の温度を一定に保つ(第二次温調)。これにより光源部17の温度を一定に保つことができるので、光学性能を一定に維持することができる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
冷却を要する発熱部位の温度を調整する温度調整装置であって、 冷媒流路に冷媒を環流して前記発熱部位を冷却する冷却手段と、 前記冷却手段への冷媒流路に設けられた流量調節手段と、 前記発熱部位または前記冷却手段に設けられた温度検出手段と、 を備え、 前記温度検出手段によって検出された温度に応じて前記流量調節手段により前記冷却手段を通過する前記冷媒の流量を調節する制御装置を備えたことを特徴とする温度調整装置。
IPC (3件)：
G03F 7/20 ,  F25D 9/00 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G03F7/20 501 ,  F25D9/00 B ,  H01L21/30 502H ,  H01L21/30 527
Fターム (16件)：
2H097AA03 ,  2H097CA02 ,  2H097CA17 ,  2H097LA09 ,  2H097LA11 ,  3L044BA06 ,  3L044CA18 ,  3L044DB02 ,  3L044HA01 ,  3L044HA03 ,  3L044KA01 ,  3L044KA04 ,  5F046CA03 ,  5F046CB22 ,  5F046DA26 ,  5F046DB02
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 露光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-274359   出願人：富士写真フイルム株式会社
審査官引用 (9件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM