特許
J-GLOBAL ID:200903004191604114
光導波回路およびその作製方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (2件):
谷 義一
, 阿部 和夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-106218
公開番号(公開出願番号):特開2008-262116
出願日: 2007年04月13日
公開日(公表日): 2008年10月30日
要約:
【課題】作製が容易で、精度の高い光路変換ミラーを提供する。【解決手段】基板101上に形成された平面光導波回路において、コア102、クラッド層103から成る光導波路104と、光導波路の端部105に、光導波路のコアよりも深く形成されたミラー溝108と、構造体の一面に反射体122が形成され、反射体と光導波路の端部とが対向するように、ミラー溝の内部に配置された光路変換ミラー121とを備えた。【選択図】図2
請求項(抜粋):
基板上に形成された光導波回路において、
コア、上部クラッドおよび下部クラッドから成る光導波路と、
該光導波路の端部に、前記光導波路のコアよりも深く形成されたミラー溝と、
前記ミラー溝の内部に配置され、構造体の一面に形成された反射体が、前記光導波路の端部と対向するように配置された光路変換ミラーを備え、
前記構造体は、前記反射体が形成された一面と接する第1の面に形成された第1の金属膜を有し、前記ミラー溝の底面に形成された第2の金属膜と半田により固定され、
前記構造体は、前記第1の面と対向する第2の面と前記ミラー溝の底面との間の距離が、前記ミラー溝の深さより小さく、
前記第1の金属膜は、前記反射体が形成された一面と接する辺と平行に形成された溝により、少なくとも2つ以上形成され、
前記第2の金属膜の面積は、前記半田により固定される前記第1の金属膜の面積より小さく、前記第2の金属膜の面積重心は、前記半田により固定される前記第1の金属膜の面積重心よりも、前記光導波路の端部側にずらして形成されていることを特徴とする光導波回路。
IPC (3件):
G02B 6/122
, G02B 6/13
, G02B 6/42
FI (4件):
G02B6/12 C
, G02B6/12 M
, G02B6/42
, G02B6/12 B
Fターム (39件):
2H137AB11
, 2H137AB12
, 2H137AC01
, 2H137AC04
, 2H137AC05
, 2H137BA31
, 2H137BB03
, 2H137BB13
, 2H137BB24
, 2H137BB25
, 2H137BC51
, 2H137BC52
, 2H137CA12E
, 2H137CA21E
, 2H137CA34
, 2H137CA74
, 2H137CC06
, 2H137EA02
, 2H137EA04
, 2H137EA06
, 2H137FA06
, 2H137HA11
, 2H147AB04
, 2H147AB05
, 2H147AB31
, 2H147BG02
, 2H147BG03
, 2H147BG06
, 2H147CA13
, 2H147CA15
, 2H147CB06
, 2H147CB07
, 2H147CC02
, 2H147CC15
, 2H147EA10D
, 2H147EA14D
, 2H147FA09
, 2H147FC03
, 2H147FC08
引用特許:
出願人引用 (2件)
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特許第3147327号明細書
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特許第3405065号明細書
審査官引用 (9件)
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