圧電モータ用の駆動装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松岡修平
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-578855
公開番号（公開出願番号）：特表2002-529037
出願日： 1998年10月25日
公開日（公表日）： 2002年09月03日
要約：

【要約】その上に形成された共通電極および複数の他の電極を含み、かつ少なくとも第1および第2の電極グループを含み、各グループが少なくとも1つの電極を含む圧電素子であって、電圧が第1の電極グループと共通電極の間に印加されたときには第1の方向に運動を起こし、電圧が第2の電極グループと共通電極の間に印加されたときには第2の方向に運動を起こす圧電素子と、共通電極に電圧を供給する電圧源と、第1および第2の電極グループと低電圧の間に別々に接続された少なくとも2つのスイッチであって、前記第1および第2の電極グループを低電圧に接続して、第1または第2の方向に選択的に運動を起こすように作動可能である少なくとも2つのスイッチと、を備えるマイクロモータ。

請求項（抜粋）：

マイクロモータであって、その上に形成された共通電極および複数の他の電極を含む圧電素子であって、少なくとも第1および第2の電極グループを含み、各グループが少なくとも1つの電極を含み、第1の電極グループと共通電極の間に電圧が印加されたときには第1の方向に運動を起こし、第2の電極グループと共通電極の間に電圧が印加されたときには第2の方向に運動を起こす圧電素子と、共通電極に電圧を供給する電圧源と、第1および第2の電極グループと低電圧の間に別々に接続された少なくとも2つのスイッチであって、前記第1および第2の電極グループを低電圧に接続して、第1または第2の方向に選択的運動を起こすように作動可能である少なくとも2つのスイッチと、を備えるマイクロモータ。

IPC (2件)：

H02N 2/00 , H01L 41/09

FI (3件)：

H02N 2/00 C , H01L 41/08 U , H01L 41/08 K

Fターム (5件)：

5H680BB13 , 5H680DD39 , 5H680FF26 , 5H680FF29 , 5H680FF37

引用特許：

審査官引用 (10件)

振動アクチュエータ駆動装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-082473 出願人：株式会社ニコン
特開平1-043072
物体を移動させるマイクロモータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-158865 出願人：ナノモーション・リミテッド

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