特許
J-GLOBAL ID：200903005102558151
回折法によるひずみ測定装置及びひずみ測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人快友国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-370074
公開番号（公開出願番号）：特開2006-177731
出願日： 2004年12月21日
公開日（公表日）： 2006年07月06日
要約：
【課題】 被測定物に対して斜めから測定波を照射し被測定物から反射される反射波の回折角から被測定物のひずみを測定するひずみ測定方法において測定精度を向上する。【解決手段】 本発明のひずみ測定装置は、被測定物24に所定の光束の測定波を照射する照射手段10と、被測定物24によって反射された反射波を検出する検出手段20と、検出手段20で検出される反射波を、被測定物24中及び/又はその近傍に設定される測定領域から反射される反射波に制限する制限手段16,18と、検出手段20で得られた検出結果を、前記測定領域とその測定領域内に存在する被測定物との幾何学的関係から補正する第1補正手段と、を備えた。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被測定物に対して斜めから測定波を照射し、被測定物から反射される反射波の回折角から被測定物のひずみを測定する回折法によるひずみ測定装置であって、
前記被測定物に所定の光束の測定波を照射する照射手段と、
前記被測定物によって反射された反射波を検出する検出手段と、
前記検出手段で検出される反射波を、被測定物中及び/又はその近傍に設定される測定領域から反射される反射波に制限する制限手段と、
前記検出手段で得られた検出結果を、前記測定領域とその測定領域内に存在する被測定物との幾何学的関係から補正する第1補正手段と、を備えた回折法によるひずみ測定装置。
IPC (3件)：
G01B 11/16
, G01B 15/06
, G01N 23/207
G01B11/16 G
, G01B15/06
, G01N23/207
2F065AA65
, 2F065FF42
, 2F065FF43
, 2F065FF48
, 2F065HH04
, 2F065HH12
, 2F065JJ08
, 2F065LL63
, 2F065MM04
, 2F065PP13
, 2F067AA65
, 2F067FF08
, 2F067FF12
, 2F067HH04
, 2F067JJ03
, 2F067KK08
, 2F067KK09
, 2F067PP12
, 2G001AA01
, 2G001BA18
, 2G001CA01
, 2G001GA13
, 2G001JA08
, 2G001KA20
, 2G001PA12
, 2G001SA01
, 2G001SA04
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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