特許
J-GLOBAL ID：200903064441788197
応力測定装置および応力測定方法およびプログラム
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (7件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 青山 正和
, 江口 昭彦
, 杉浦 秀幸
, 村山 靖彦
, 柳井 則子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-300355
公開番号（公開出願番号）：特開2004-132936
出願日： 2002年10月15日
公開日（公表日）： 2004年04月30日
要約：
【課題】確実にX線の到達深さを変化させずにψ角および散乱角2θを制御することによって、試料に発生した応力の検出精度を向上させる。【解決手段】制御装置19は、入射X線Xinの試料21中での光路長と、散乱X線Xoutの試料21中での光路長との和とされる全光路長に対して、試料21中での各X線Xin,Xoutの強度の減衰率が1/e(eは自然対数)となるときの全光路長の値をX線侵入長Lpとし、X線侵入長Lpに対する試料21中での散乱位置の深さの値をX線侵入深さDpとする。制御装置19は、X線侵入長Lpを各X線Xin,Xoutの波長λとX線吸収係数μ(λ)とに基づいて算出し、X線侵入深さDpに所定値を設定した状態で、所望の散乱角2θおよびψ角を得るためのχ角およびω角を算出する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
所定エネルギーのX線を被測定物に照射する入射装置と、前記X線のうち前記被測定物にて散乱される散乱X線の強度を検出する検出装置と、前記X線の入射方向と前記検出装置により検出される前記散乱X線の散乱方向とのなす角である散乱角を変更可能な散乱角変更装置と、前記入射方向および前記散乱方向を含む散乱角走査平面内において前記散乱角の補角の2等分線に沿った方向に伸びる散乱ベクトルと前記被測定物の表面に対する法線方向とのなす角であるψ角を変更可能なψ角変更装置と、
前記ψ角変更装置により前記ψ角を変更させる毎に、前記散乱角変更装置により前記散乱角を変更させると共に前記検出装置により前記散乱X線の強度を測定させ、前記散乱角の変化に応じた前記散乱X線の散乱強度分布のψ角依存性のデータを取得し、該データに基づき、前記被測定物に発生した応力の前記表面に平行な応力成分を検出する制御装置とを備える応力測定装置であって、
前記表面と前記入射方向とのなす角である入射角および前記表面と前記散乱方向とのなす角である出射角に係る第1の角および第2の角と、前記X線の波長と、前記被測定物のX線吸収係数とに基づいて算出可能なX線侵入深さに、所定値を設定するX線侵入深さ設定手段と、
前記X線侵入深さ設定手段により設定される前記X線侵入深さの値を固定した状態で、前記散乱角および前記ψ角を各所望の値に設定するための、前記第1の角および前記第2の角を設定するパラメータ設定手段と、
前記パラメータ設定手段により設定される前記第1の角および前記第2の角に応じて、前記散乱角変更装置を駆動制御することにより前記散乱角を所望の値に設定する散乱角駆動制御手段および前記ψ角変更装置を駆動制御することにより前記ψ角を所望の値に設定するψ角駆動制御手段と
を備えることを特徴とする応力測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
引用文献：
前のページに戻る
