特許
J-GLOBAL ID：200903005445492229
光照射装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-331326
公開番号（公開出願番号）：特開2000-147506
出願日： 1998年11月20日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：
【要約】【課題】 大面積の照射が可能であり、光を傾斜照射して配向膜の配向方向及びプリチルト角を決める光照射装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明による光照射装置は、光学系と、前記光学系からの光を偏光させる第1偏光子33と、前記第1偏光子から出た光が、基板が置かれるステージ11の法線に対して、所定の角度(θ)に傾斜されるように照射される。
請求項（抜粋）：
光学系と、前記光学系からの光を偏光させる第1偏光子と、前記第1偏光子から出た光が基板が置かれるステージの法線に対して、所定の角度(θ)に傾斜されるように照射されることを特徴とする光照射装置。
Fターム (7件)：
2H090LA05
, 2H090LA09
, 2H090LA12
, 2H090LA16
, 2H090LA20
, 2H090MA15
, 2H090MB14
