特許
J-GLOBAL ID：200903005481288760

ZnO蒸着材とその製造方法、およびそのZnO膜等

発明者：
黛 良享

黛 良享 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (1件)： 千葉 博史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-245305
公開番号（公開出願番号）：特開2009-097090
出願日： 2008年09月25日
公開日（公表日）： 2009年05月07日
要約：
【課題】成膜時の蒸発速度、成膜速度が高く、導電性および透明性に優れ、さらには耐湿性に優れた緻密なZnO膜を形成するZnO蒸着材とその製造方法を提供する。【解決手段】透明導電膜の成膜に用いられるZnO蒸着材であって、ZnOを主成分とする焼結体からなり、該焼結体が第一添加元素と第二添加元素とを含み、第一添加元素がPr、Nd、PmおよびSmの群から選ばれた1種または2種以上の元素であり、第二添加元素がB、Al、GaおよびScの群から選ばれた1種または2種以上の元素であり、第一添加元素の含有量が0.1〜14.9質量%の範囲内であり、第二添加元素の含有量が0.1〜10質量%の範囲内であり、第一添加元素の含有量が第二添加元素の含有量より多く、かつ該焼結体が3〜50%の気孔率を有する多孔質焼結体であることを特徴とするZnO蒸着材、およびその製造方法。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
透明導電膜の成膜に用いられるZnO蒸着材であって、ZnOを主成分とする焼結体からなり、該焼結体が第一添加元素と第二添加元素とを含み、第一添加元素がPr、Nd、PmおよびSmの群から選ばれた1種または2種以上の元素であり、第二添加元素がB、Al、GaおよびScの群から選ばれた1種または2種以上の元素であり、第一添加元素の含有量が0.1〜14.9質量%の範囲内であり、第二添加元素の含有量が0.1〜10質量%の範囲内であり、第一添加元素の含有量が第二添加元素の含有量より多く、かつ該焼結体が3〜50%の気孔率を有する多孔質焼結体であることを特徴とするZnO蒸着材。
IPC (5件)：
C23C 14/24 ,  C23C 14/08 ,  C04B 35/453 ,  C04B 38/00 ,  H01B 13/00
FI (5件)：
C23C14/24 E ,  C23C14/08 C ,  C04B35/00 P ,  C04B38/00 303Z ,  H01B13/00 503B
Fターム (27件)：
4G019JA01 ,  4G019JA05 ,  4G030AA11 ,  4G030AA32 ,  4G030AA34 ,  4G030AA35 ,  4G030AA36 ,  4G030BA02 ,  4G030BA15 ,  4G030CA04 ,  4G030CA09 ,  4G030GA05 ,  4G030GA11 ,  4G030GA14 ,  4G030GA16 ,  4G030GA18 ,  4G030GA22 ,  4G030GA27 ,  4K029BA49 ,  4K029BC09 ,  4K029CA02 ,  4K029DB05 ,  4K029DB08 ,  4K029DB21 ,  5G323BA02 ,  5G323BB04 ,  5G323BB05
引用特許：
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (12件)
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引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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